Металлизация ультрабольших интегральных схем
Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И.
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
İl:
2015
Nəşr:
3-е изд. (эл.)
Nəşriyyat:
Издательство "Лаборатория знаний" (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
Dil:
russian
Səhifələr:
277
ISBN 10:
5996325691
ISBN 13:
9785996325696
Seriyalar:
МИЭТ
Fayl:
PDF, 7.22 MB
IPFS:
,
russian, 2015
Litres
Kitab mağazasını əlavə etmək istəyirsiniz? Bizimlə support@z-lib.do ilə əlaqə saxlayın
Faylları çevirin
Daha çox axtarış nəticəsi
Digər üstünlüklər 
